Vakuumfreie Verarbeitung – Openair-Plasma® eröffnet neue Potenziale bei der Herstellung von Halbleitern

Silicium-Wafer, Chips und Hochleistungshalbleiter stellen die empfindlichsten elektronischen Bauteile dar. Parallel mit der Entwicklung dieser Technologien hat sich die Niederdruck-Plasmatechnik als Fertigungsverfahren etabliert.

Die Weiterentwicklung des Openair® Plasmaverfahrens unter Atmosphärendruck eröffnet neue Potenziale in der Halbleiterherstellung und Bauteilreinigung.

Die Weiterentwicklung des Openair-Plasma® verfahrens unter Atmosphärendruck eröffnet hier insbesondere durch die Automatisierbarkeit ganz neue Potenziale. Für die Plasmabehandlung – z.B. bei der Reinigung von Wafern oder dem Chip-Bonding – ist kein Vakuum mehr notwendig, die Prozessabläufe können stark vereinfacht werden.

Weitere Vorteile von Openair-Plasma® systemen:

  • Feinst-Reinigung (Bauteilreinigung) ohne Beschädigung sensibler Strukturen
  • gezielte Funktionalisierung von Oberflächen für eine selektive Weiterverarbeitung
  • schlankes Prozesslayout, relevante Kostenersparnisse
  • geringere Fehlerquote bei Bond-Prozessen
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