Das X/Y/Z-Bewegungssystem des Laborsystems Plasmatreater AS400

Um frei konfigurierbare Behandlungsparameter wie z.B. Behandlungsdichten und maximale Spurbreiten der Vorhandlung zu ermitteln, sowie die Abstände der Düsen und Substrate zur Oberfläche präzise einzustellen, ist der AS400 mit einem X/Y/Z Bewegungssystem ausgestattet. So kann die Behandlungsgeschwindigkeit stufenlos zwischen 1 und max. 100 m/min eingestellt werden, bei einer in 1mm Schritten justierbaren Spurbreite. Der Düsenabstand zum Substrat wird manuell stufenlos eingestellt, max. 40mm Abstand.

Das X/Y/Z-Bewegungssystem ist im AS400 enthalten.

Optionale Komponenten:
• automatische Verstellung Z-Achse
• Substrataufnahme mit Vakuumplatte
• treppenartige Ergänzung zur Grundplatte für
  unterschiedliche Behandlungsabstände

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