Wie werden Plasmen charakterisiert?

Besonders aussagekräftige Messgrößen für Plasma sind die Elektronentemperatur sowie Emissionen diverser angeregter Spezies im ultravioletten und sichtbaren Bereich.

Erst durch eine hohe Elektronentemperatur und eine niedrige Ionentemperatur ist es überhaupt möglich, auch thermisch sehr empfindliche Kunststoffe ohne Beschädigung unter Atmosphärendruck vorzubehandeln.

Die Leuchterscheinungen (optischen Emissionen) eines relaxierenden* Plasmas können mit Hilfe der Optischen Emissionsspektroskopie (OES) detektiert werden. Dazu werden charakteristische Emissionsbanden der im Plasma angeregten Spezies im sichtbaren und besonders im ultravioletten Bereich des Spektrums über einen Lichtleiter zur Auswerteelektronik übertragen und anschließend mit einer speziellen Software weiterverarbeitet.
Die Prozessüberwachungs-Komponenten der Plasmatreat-Anlagen arbeiten nach diesem Prinzip der optischen Kontrolle. Dies ermöglicht eine gleichbleibende Qualität über den gesamten Plasma-Prozess.

* relaxierend: Übergang eines Plasma in seinen Grundzustand. Dabei wird die zuvor zugeführte Anregungsenergie in Form von Licht an die Umgebung abgegeben.

Optisches Emissionsspektrum des Plasmas sichtbarer und ultravioletter Bereich

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