Solarmodule mit funktionellen Oberflächen: Veredelung mit Plasmabeschichtung unter Atmosphärendruck

Die Herausforderung bei der Herstellung von Solarzellen und –modulen ist eine effizientere, einfachere und kostengünstigere Herstellung – und das bei höchsten Qualitätsansprüchen. Bei der Herstellung von Solarzellen sind Niederdruckplasma, Ätz- und Beschichtungsprozesse fest etabliert. Diese Verfahrensschritte sind aufgrund einzuhaltender langer Prozesszeiten sehr aufwändig und diskontinuierlich.

Openair® ermöglicht die effiziente Plasmabehandlung von Solarmodulen
Openair®-Plasmabeschichtung für höchste Qualität von Solarmodulen

Openair® Plasma bietet hier zwei hocheffiziente Lösungen unter Atmosphärendruck:

  • Plasmaaktivierung von Solarzellen durch Einsatz funktioneller Prozessgase
    - Gezielte Ätzwirkung auf Wafern zum kontrollierten Abtrag
    - Entfernung von Oxiden durch reduzierende Plasmen (Entoxidation)
  • Die Plasmapolymerisation mit Openair® Plasma eröffnet neue Potenziale für die inline-Beschichtung von Solarmodulen. Durch plasmapolymere Schichten lassen sich die Moduloberflächen gezielt funktionalisieren (Funktionsbeschichtung), so dass z.B.
    - die Transmission verbessert wird (verminderte Reflexion)
    - das Wachstum von Biofilmen fotokatalytisch unterbunden wird
    - die Oberflächen ultrahydrophob ausgestattet werden, was einer Schmutzanhaftung entgegenwirkt

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